TECAPEEK CMP natural
半導体製造CMP向けPEEK
半導体製造のCMP(化学機械研磨処理)装置向けの耐摩耗性に優れたPEEK素材です。優れたクリープ強度に加えて、高い寸法公差と寸法精度などPEEKの卓越した特徴を引き継いでいます。TECAPEEK CMPは標準的なTECAPEEKより純度が高い素材です。優れた耐薬品性と、CMP向けに最適化された耐摩耗特性と摩擦特性をあわせ持っています。
コスト | 値 | 単位 | 測定条件 | 規格 |
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Relative costs EU from € to €€€€€€ | €€€€€ |