TECAPEEK CMP natural
CMP リテ－ナーリング用途向けPEEKチューブ
TECAPEEK CMP naturalは、CMPリテーナーリング用途向けに開発され、半導体業界向けのエンズインガーのポートフォリオの一部です。これは、Victrex® PEEKポリマーを使用した無添加 PEEK (ポリエーテルエーテルケトン) 素材です。 CMP リテーナーリングに切削加工すると、特殊なPEEK材料特性により、標準的な PEEK 材料と比較して内側の溝の磨耗 (サイド アタックとも呼ばれます) が少なくなり、ウエハー欠陥のリスクが大幅に軽減されます。 CMP リテーナーリング素材の中で、TECAPEEK CMP は最高の摩耗特性と摩擦特性、機械特性、寸法安定性、および耐熱性を備え、リングの寿命を最長にします。
PEEKの耐摩耗性はPPSの3 倍優れており、TECAPEEK CMP naturalは競合他社の PEEK 素材よりも20%優れた耐摩耗性を備えているため、耐用年数の点でに利点があります。
一般に、CMP 消耗品は、最短寿命を１としてその倍数単位で交換されます。典型的なものはパッドです。 そのため、リング交換のタイミングはパッドの「ピットストップ」に合わせて行われることが多いです。 たとえば、特定の条件下では、PPS リングは約 4 回のパッド交換に耐えることができ、標準の PEEK リングは最大 12 回のパッド交換に耐えることができますが、TECAPEEK CMP リングは最大 14 回のパッド交換に耐えることができます。 これは、リングの交換率と総所有コストに有意義で有利な効果をもたらします。
材料特性の最適化に加えて、エンズインガーは、CMP リテーナーリングの一般的なサイズによりよく適合する特別なチューブ サイズも開発しました。これにより、切削加工時の無駄とコストの削減が可能となります。一例をあげると、外径350mm/内径300mmのチューブを使用することによって、 従来の外径360 mm /内径290 mm使用と比較して材料費を最大 27% 節減できます。
エンズインガーの全ての半導体グレードと同様に、TECAPEEK CMP naturalチューブは、半導体のCopy Exactly (Copy Exactまたは CE とも呼ばれます) 要件を遵守し、且つ工業用 PEEK グレードと比較してより厳格な品質管理のもとで製造されます。 追加の品質管理と対策により、一般工業用 PEEK素材と比較して、不純物のリスクが軽減しているとともに内部応力が低減し、且つ寸法安定性が向上しています。 TECAPEEK CMP naturalがRoHS 指令（2011/65/EU：電子・電気機器に含まれる有害物質の制限）に準拠していることを証明できます。また、ご要望に応じてさらなる準拠宣言を提供することもできます。
より低い材料コストを必要とし、より短い寿命を適用できる CMP リテーナーリングの場合、エンシンガーは PPS バージョンである TECATRON CMP naturalを提供しており、これもCMP リテーナーリングに合わせた特別な特性プロファイルを備えています。 この特別な特性プロファイルを必要としない他の半導体用途向けに、エンズインガーは、板材・丸棒及びチューブとしてより採算性の高い半導体グレードの PEEK バージョンである TECAPEEK SX naturalを提供しています。
