TECATRON CMP natural
PPS OFYYLLDA RÖR FÖR CMP LÅSRINGAR
TECATRON CMP natural är en ofylld PPS (polyfenylensulfid) optimerad specifikt för CMP låsringsr och är därmed en del av Ensingers portfölj för halvledarindustrin. TECATRON CMP natural kännetecknas av en unik egenskaps profil som möjliggör minskade mikro repor och wafer defekter än standard PPS när den används som CMP låsringar. Det tidigare namnet på TECATRON CMP natural har varit TECATRON SE natural.
En viktig utmaning i materialvalet är att mindre skillnader i materialegenskaperna hos CMP låsringar kommer att påverka formen på dynans ojämnheter. Denna modifiering kommer att orsaka olika mängder av dyn fragment och påverka omfattningen av fragment indragning, vilket i sin tur har en betydande inverkan på den totala prestandan för CMP-processen. Studier har visat att TECATRON CMP bär kuddarna på ett sätt så att kuddarnas ojämnheter är optimerade för förbättrad material avlägsning samt minskade defekter. (Se studie, produkten heter TECATRON SE i artikeln, vilket är det tidigare namnet på TECATRON CMP)
Som med alla Ensinger halvledar kvaliteter, bearbetas TECATRON CMP natur rör i enlighet med kraven för exakt halvledarkopiering (även känd som copy exact eller CE) och strängare kvalitetskontroller jämfört med industriella PPS-kvaliteter.Ytterligare kvalitetskontroller och åtgärder möjliggör minskade risker för föroreningar och förbättrad inre spänning och dimensions stabilitet jämfört med vanliga industriella PPS-material.
Förutom optimering av materialegenskaper har Ensinger också utvecklat speciella rörstorlekar som bättre passar typiska storlekar av CMP låsringar, vilket möjliggör minskning av spill och kostnader under bearbetning. Till exempel genom att använda en rörstorlek med O.D. 350 mm / I.D 300 mm sparar man upp till 27 % materialkostnader jämfört med konventionella O.D. 360 / I.D. 290 mm.
För CMP låsringar som kräver längre livslängd, erbjuder Ensinger en ofylld PEEK-baserad TECAPEEK CMP naturlig, även med en speciell egenskaps profil anpassad till CMP låsringar. För andra halvledar-PPS-applikationer som inte kräver denna speciella egenskaps profil, erbjuder Ensinger en mer kostnadseffektiv PPS i platta, -stav och -rör av halvledar kvalitet – TECATRON SX natural.
