TECAPEEK CMP natural
TUBOS DE PEEK PARA ANILLOS DE RETENCIÓN CMP
TECAPEEK CMP natural se desarrolló específicamente para la aplicación de anillos de retención CMP y forma parte del catálogo de productos de Ensinger para la industria de semiconductores. Se trata de un material plástico PEEK sin aditivar (polieteretercetona) basado en el polímero Victrex® PEEK.
Cuando se mecaniza en anillos de retención CMP, las propiedades especiales del material PEEK permiten un menor desgaste de la ranura interior (también conocido como ataque lateral) en comparación con el plástico PEEK estándar, lo que reduce significativamente los riesgos de defectos en las obleas. Entre los materiales para anillos de retención CMP, TECAPEEK CMP ofrece las mejores características de abrasión y fricción, propiedades mecánicas, estabilidad dimensional y resistencia a la temperatura, lo que permite una vida útil más prolongada del anillo.
Generalmente, los consumibles CMP se cambian en múltiplos del que tenga la vida útil más corta, generalmente la almohadilla. En consecuencia, el tiempo de sustitución del anillo a menudo coincide con la "parada en boxes" de la almohadilla. Por ejemplo, bajo ciertas condiciones, un anillo PPS puede durar aproximadamente 4 cambios de almohadilla, un anillo de PEEK estándar puede durar hasta 12 cambios de almohadilla y un anillo de TECAPEEK CMP puede durar hasta 14 cambios de almohadilla. Esto tiene un impacto favorable significativo en la tasa de cambio del anillo y en el coste total de propiedad.
Además de la optimización de las propiedades del material, Ensinger también ha desarrollado tamaños de tubo especiales que se ajustan mejor a los tamaños típicos de los anillos de retención CMP, lo que permite reducir los residuos y los costes durante el mecanizado. Por ejemplo, el uso del tamaño de tubo con un D.E. 350 mm / D.I. 300 mm permite hasta un 27 % de ahorro en costes de material en comparación con el D.E. 360 / D.I. 290 mm convencional.
Al igual que todos los grados de semiconductores de Ensinger, los tubos de TECAPEEK CMP natural se procesan de acuerdo con los requisitos de copia exacta de semiconductores (también conocidos como copia exacta o CE) y con controles de calidad más estrictos en comparación con los grados industriales de PEEK. Los controles y medidas de calidad adicionales permiten reducir los riesgos de impurezas y mejorar la tensión interna y la estabilidad dimensional en comparación con el PEEK industrial estándar. Podemos confirmar que TECATRON SX natural cumple con las limitaciones impuestas por la Directiva RoHS 2011/65/UE sobre la Restricción de Sustancias Peligrosas en Equipos Eléctricos, y también podemos proporcionar declaraciones de conformidad adicionales previa solicitud.
Para los anillos de retención de CMP que requieren menor coste de material y que se pueden utilizar durante un período más corto de vida útil, Ensinger ofrece una versión PPS - TECATRON CMP natural, también con un perfil de propiedades especial coincidente con los anillos de retención de CMP. Para otras aplicaciones de semiconductores que no requieran este perfil de propiedades especial, Ensinger ofrece una versión PEEK de grado semiconductor más rentable en forma de placas, barras y tubos: TECAPEEK SX natural.
