TECAPEEK CMP natural

PEEK per applicazioni CMP

Il TECAPEEK CMP è un polimero PEEK Victrex® modificato specificamente per applicazioni nell’industria dei semiconduttori e, più in particolare, per componenti di apparecchiature CMP (planarizzazione chimico-meccanica). Il materiale mantiene le eccezionali proprietà intrinseche del PEEK, che includono elevata resistenza meccanica e stabilità dimensionale per particolari con tolleranze strette, oltre a bassa tendenza al creep. Il TECAPEEK CMP ha un livello di purezza più elevato rispetto al TECAPEEK. Questo, abbinato a eccellente resistenza chimica e resistenza ad abrasione e attrito specificamente migliorata, completa il profilo delle proprietà del PEEK CMP modificato.

Materiale

Designazione chimica

PEEK (Polietereterchetone)

Colore

naturale

Densità

1,31 g/cm3

Caratteristiche principali

buona temperatura di distorsione termica
buona lavorabilità
intrinsecamente ritardante di fiamma
resistente all'idrolisi e al vapore surriscaldato
alta tenacità
resistente alle radiazioni ad alta energia
buone proprietà di scorrimento e usura
elevata resistenza al creep

Settori di applicazione

tecnologia dei semiconduttori

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Schede tecniche (PDF)

Schede di sicurezza (PDF)

Dettagli tecnici

Proprietà meccaniche

Proprietà meccaniche
Proprietà meccaniche	valore	unità	parametri	norma
Resistenza a compressione	34	MPa	deformazione 1%/2%/5%	EN ISO 604
Modulo elastico (prova di flessione)	3900	MPa	2mm/min, 10 N	DIN EN ISO 178
Resistenza a flessione	160	MPa	2mm/min, 10 N	DIN EN ISO 178
Allungamento a rottura	50	%	50mm/min	DIN EN ISO 527-2
Tensione di snervamento a trazione	110	MPa	50mm/min	DIN EN ISO 527-2
Allungamento a snervamento	4	%	50mm/min	DIN EN ISO 527-2
Modulo elastico (prova di trazione)	4100	MPa	1mm/min	DIN EN ISO 527-2
Resistenza a trazione	110	MPa	50mm/min	DIN EN ISO 527-2
Durezza a penetrazione di sfera	240	MPa		ISO 2039-1
Resistenza agli urti (Charpy)	n.b.	kJ/m2	max. 7,5J	DIN EN ISO 179-1eU
Modulo elastico (prova di compressione)	3200	MPa	5mm/min, 10 N	EN ISO 604
Resistenza agli urti con intaglio (Izod)	4	kJ/m2		DIN EN ISO 179-1eA

Proprietà termiche

Proprietà termiche
Proprietà termiche	valore	unità	parametri	norma
Dilatazione termica (CLTE)	6	10-5*1/K	23-100°C, long.	DIN EN ISO 11359-1;2
Dilatazione termica (CLTE)	5	10-5*1/K	23-60°C, long.	DIN EN ISO 11359-1;2
Temperatura di esercizio	260	C	a lungo termine	NN
Temperatura di distorsione	162	C	HDT, Metodo A	ISO-R 75 Method A
Temperatura di esercizio	300	C	a breve termine	NN
Temperatura di fusione	340	C		DIN EN ISO 11357
Temperatura di transizione vetrosa	151	C		DIN EN ISO 11357
Conducibilità termica	0.27	W/(k*m)		ISO 22007-4:2008
Calore specifico	1.1	J/(g*K)		ISO 22007-4:2008
Dilatazione termica (CLTE)	7	10-5*1/K	100-150°C, long.	DIN EN ISO 11359-1;2

Proprietà elettriche

Proprietà elettriche
Proprietà elettriche	valore	unità	parametri	norma
Resistività superficiale	10¹⁵	O	elettrodo in argento, 23°C, 12% um. rel.	DIN IEC 60093
Resistività di volume	10¹⁵	O*cm	elettrodo in argento, 23°C, 12% um. rel.	DIN IEC 60093
Rigidità dielettrica	73	kV/mm		ISO 60243-1
Resistenza alla corrente di dispersione superficiale (CTI)	125	V	elettrodo in platino, 23°C, 50% um. rel., solvente A	DIN EN 60112

Altre proprietà
Altre proprietà
Altre proprietà valore unità parametri norma
Resistenza all'acqua calda / soluzioni alcaline + - -
Resistenza agli agenti atmosferici - - -
Assorbimento d'acqua 0.03 % 24h / 96h (23°C) DIN EN ISO 62

Altre proprietà	valore	unità	parametri	norma
Resistenza all'acqua calda / soluzioni alcaline	+	-		-
Resistenza agli agenti atmosferici	-	-		-
Assorbimento d'acqua	0.03	%	24h / 96h (23°C)	DIN EN ISO 62