TECAPEEK CMP natural

PEEK för CMP-tillämpningar

TECAPEEK CMP är en Victrex® PEEK-polymer som har specialmodifierats för användning inom halvledarindustrin och särskilt för delar på CMP-utrustning (chemical mechanical planarization). Materialet erbjuder den enastående egenskapsprofil som kännetecknar PEEK-materialet. I denna ingår bland annat hög mekanisk styrka och måttstabilitet för mycket snäva komponenttoleranser och låg tendens till krypning. TECAPEEK CMP har högre renhetsgrad än TECAPEEK. Dessa egenskaper i kombination med utmärkt beständighet mot kemikalier och förbättrad slitage- och friktionsegenskaper avrundar egenskapsprofilen för denna modifiering av PEEK CMP.

Fakta

Kemisk beteckning

PEEK (polyetereterketon)

Färg

Beige

Densitet

1,31 g/cm3

huvud funktioner

bra värmeledningstemperatur
bra för maskinbearbetning
inneboende flamskyddsmedel
hydrolys och överhettad ångbeständig
hög seghet
motstånd mot hög energi strålning
bra glid och slitegenskaper
högt krypmotstånd

Målindustrier

halvledarteknik

Ladda ner

Datablad (PDF)

Tekniska detaljer

Mekaniska Egenskaper

product-technical-detail-collapse-item-0-lvl-1
Mekaniska Egenskaper	Värde	Enhet	Parametrar	Norm
Kompressionsstyrka	34	MPa	1% / 2%	EN ISO 604
Elasticitetsmodul (böjningstest)	3900	MPa	2mm/min, 10 N	DIN EN ISO 178
Böjhållfasthet	160	MPa	2mm/min, 10 N	DIN EN ISO 178
Brottförlängning	50	%	50mm/min	DIN EN ISO 527-2
Böjhållfasthet	110	MPa	50mm/min	DIN EN ISO 527-2
Dragtöjning	4	%	50mm/min	DIN EN ISO 527-2
Elasticitetsmodul (dragprov)	4100	MPa	1mm/min	DIN EN ISO 527-2
Draghållfasthet	110	MPa	50mm/min	DIN EN ISO 527-2
Kultrycks hårdhet	240	MPa		ISO 2039-1
slagstyrka (charpy)	n.b.	kJ/m2	max. 7,5J	DIN EN ISO 179-1eU
Kompressionsmodul	3200	MPa	5mm/min, 10 N	EN ISO 604
Slagseghet	4	kJ/m2		DIN EN ISO 179-1eA

Värmeledningsförmåga

product-technical-detail-collapse-item-1-lvl-1
Värmeledningsförmåga	Värde	Enhet	Parametrar	Norm
termisk expansion	6	10-5*1/K	23-100°C, long.	DIN EN ISO 11359-1;2
termisk expansion	5	10-5*1/K	23-60°C, long.	DIN EN ISO 11359-1;2
Service temperatur	260	C	long term	NN
värmeförvrängning stemperatur	162	C	HDT, Method A	ISO-R 75 Method A
Service temperatur	300	C	short term	NN
Smält temperatur	340	C		DIN EN ISO 11357
Glasövergångstemperatur	151	C		DIN EN ISO 11357
Värmeledningsförmåga	0.27	W/(k*m)		ISO 22007-4:2008
Specifik värme	1.1	J/(g*K)		ISO 22007-4:2008
termisk expansion	7	10-5*1/K	100-150°C, long.	DIN EN ISO 11359-1;2

Elektriska egenskaper

product-technical-detail-collapse-item-2-lvl-1
Elektriska egenskaper	Värde	Enhet	Parametrar	Norm
Specifikt ytmotstånd	10¹⁵	O	Silver electrode, 23°C, 12% r.h.	DIN IEC 60093
Specifik volymr esistans	10¹⁵	O*cm	Silver electrode, 23°C, 12% r.h.	DIN IEC 60093
Dielektrisk styrka	73	kV/mm	23°C, 50% r.h.	ISO 60243-1
Motståndskraft mot spårning (CTI)	125	V	Platin electrode, 23°C, 50% r.h., solvent A	DIN EN 60112

Övriga egenskaper

product-technical-detail-collapse-item-3-lvl-1
Övriga egenskaper	Värde	Enhet	Parametrar	Norm
Motstånd mot varmvatten / baser	+	-		-
Motståndskraft förvittring	-	-		-
Vatten absorption	0.03	%	24h / 96h (23°C)	DIN EN ISO 62