TECAPEEK CMP natural

针对CMP应用的PEEK

TECAPEEK CMP是一款专为半导体行业的应用而研发的PEEK改性材料,以Victrex® PEEK为基材,尤其针对CMP(化学机械抛光)设备中的零件。该材料保持了PEEK材料固有的优异性能特征,包括高机械强度和尺寸稳定性,以及低蠕变趋势,可以加工出精密公差的部件。TECAPEEK CMP材料具有比标准TECAPEEK材料更高的纯度。这款PEEK CMP改性材料的性能还包括优异的耐化学性,以及特别改进的耐磨性和摩擦性。

事实

化学名称
PEEK (聚醚醚酮)
颜色
# natural
密度
1,31 g/cm3

主要特点

  • 热变形温度高
  • 良好的加工性
  • 内在的阻燃性
  • 耐水解和过热蒸汽能力
  • 高韧性
  • 耐高能辐射
  • 良好的滑动和耐磨性能
  • 良好的抗蠕变性

目标行业

电子半导体技术

技术细节


    • 1015
      O
      银电极,23°C,相对湿度12%
      DIN IEC 60093
    • 1015
      O*cm
      银电极,23°C,相对湿度12%
      DIN IEC 60093
    • 73
      kV/mm
      23°C,相对湿度50%
      ISO 60243-1
    • 125
      V
      铂电极,23°C,相对湿度50%,溶剂A
      DIN EN 60112

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