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TECAPEEK CMP natural

CMP용 PEEK

TECAPEEK CMP는 반도체용으로 특수 개질된 Victrex® PEEK 폴리머 반제품으로, 우수한 기계적 강도, 최소한의 부품 허용오차에 대한 치수안정성, 낮은 크리프 확률 등 PEEK 고유의 뛰어난 특성을 보입니다. 특히 이 소재는 CMP(화학기계연마) 장비의 부품 용도로 생산되며, TECAPEEK 표준 제품에 비해 높은 순도 및 우수한 내화학성, 향상된 내마모성 및 내마찰성을 갖추고 있습니다.

정보

화학적 명칭
PEEK (폴리 에테르 에테르 케톤 (Polyetheretherketone))
색상
# 내추럴
밀도
1,31 g/cm3

주요 특성

  • 우수한 열 변형온도
  • 우수한 가공성
  • 자체 난연제
  • 가수분해 및 고온증기에 대한 내성
  • 높은 인성
  • 높은 에너지 방사선에 대한 내성
  • 우수한 슬라이드성 및 내마모성
  • 높은 크리프 저항성

적용분야

반도체 기술

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제품 물성표 (PDF)
제품 취급 (PDF)

기술 세부사항

    • 6
      10-5*1/K
      23-100°C, 세로방향*
      DIN EN ISO 11359-1;2
    • 5
      10-5*1/K
      23-60°C, 세로방향
      DIN EN ISO 11359-1;2
    • 260
      C
      장기
      NN
    • 162
      C
      HDT, A
      ISO-R 75 Method A
    • 300
      C
      단기
      NN
    • 340
      C
      DIN EN ISO 11357
    • 151
      C
      DIN EN ISO 11357
    • 0.27
      W/(k*m)
      ISO 22007-4:2008
    • 1.1
      J/(g*K)
      ISO 22007-4:2008
    • 7
      10-5*1/K
      100-150°C, 세로방향*
      DIN EN ISO 11359-1;2
    • 1015
      O
      은 전극, 23°C, 12% r.h.
      DIN IEC 60093
    • 1015
      O*cm
      은 전극, 23°C, 12% r.h.
      DIN IEC 60093
    • 73
      kV/mm
      23°C, 50% r.h.
      ISO 60243-1
    • 125
      V
      백금 전극, 23°C, 50% r.h., 용제 A
      DIN EN 60112

재고 프로그램

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