TECAPEEK SX natural
반도체용 PEEK
TECAPEEK SX natural은 Victrex® PEEK 450을 기반으로 하는 비보강 PEEK 플라스틱 소재(폴리에테르에테르케톤)로, 판재, 봉재, 튜브 형태로 가공됩니다. 이것은 'Semiconductor copy exactly' (Copy exact 혹은 CE 로 불리기도 함)의 요구 사항을 정확하게 충족할 뿐만 아니라 유사한 요구 사항을 가진 다른 많은 산업에서도 실현 가능합니다. 또한, 보다 엄격한 품질 관리 및 조치를 통해 표준 산업용 PEEK에 비해 내부 응력 및 치수 안정성이 향상됩니다. 그 결과, 매우 엄격한 공차를 가진 까다로운 고정밀 가공 부품을 반도체 제조 장비용으로 쉽게 구현할 수 있습니다.
열 응력 하에서도 뛰어난 내마모성과 매우 우수한 기계적 특성을 지니는 PEEK 소재의 특성은 TECAPEEK SX natural에도 적용됩니다. 우수한 내화학성, 고온 사용가능 온도범위(최대 260 °C)는 PEEK 특성을 완성하며, TECAPEEK SX natural을 고부하 부품의 거의 모든 분야에 적용할 수 있는 소재로 만듭니다. 뿐만 아니라, TECAPEEK natural의 낮은 이온 불순물 특성은 TECAPEEK SX natural에도 동일하게 적용됩니다.
엔싱거 PEEK는 반도체 산업 수요에 맞는 최고의 치수 다양성을 제공합니다. TECAPEEK SX 의 경우, 400여 개 이상의 다양한 치수가 가능 합니다.
다양한 사이즈를 제공함으로써, 가공업체는 가장 알맞은 크기를 선택할 수 있고, 이를 통해 재료 손실(loss)을 막고 비용을 절감함으로써, 전체적으로 총 부품의 비용 절감을 도모할 수 있습니다. 로트 크기는, 프로토타입 프로젝트를 위한 단 하나의 부품부터 대형 산업 규모의 로트까지 다양합니다. 20개 이상의 다양한 사이즈가 상시 재고로 운영되며, 다량이라도 항상 최단 시간 또는 'just-in-time'로 배송됩니다. 이는 매우 효율적인 재고 관리 시스템과 최고 수준의 공급 보장이 동반되기에 가능합니다.
엔싱거의 모든 반도체 등급(Semiconductor grade) 소재와 마찬가지로 TECAPEEK SX natural 도 RoHS Directive 2011/65/EU (유해물질 제한지침, RoHS : Restriction of Hazardous Substances) 에 의해 부과되는 제한사항을 충족함을 확인할 수 있으며, 또한, 요청 시 추가 적합성 선언을 제공할 수 있습니다.
특히 CMP 리테이닝 링의 경우, 엔싱거는 대체가능한 비보강 PEEK 등급인 TECAPEEK CMP natural 을 제공합니다. 이 PEEK CMP grade는, CMP 리테이닝 링으로 사용될 때 웨이퍼 결함을 감소시킬 수 있는 특수 특성 프로파일을 제공합니다.
