TECAPEEK CMP natural
PEEK para anéis de retenção CMP
TECAPEEK CMP natural foi especificamente desenvolvido para aplicação de anéis de retenção no processo de CMP (Chemical Mechanical Planarization or Polishing – Polimento Mecânico Químico) e faz parte do portfólio Ensinger para a indústria de semicondutores. Tem como base um material plástico de alta-performance, o PEEK (poliéteretercetona) não-aditivado, baseado no polímero Victrex® PEEK.
Quando usinados para obtenção dos anéis de retenção CMP, as propriedades especiais do PEEK permitem menos desgaste da ranhura interna (também conhecido como side attack) comparado ao PEEK padrão, o que reduz significativamente os riscos de defeitos de pastilhas. Entre os materiais do anel de retenção CMP, o TECAPEEK CMP oferece as melhores características de abrasão e atrito, propriedades mecânicas, estabilidade dimensional e resistência à temperatura, possibilitando assim uma longa vida útil ao anel.
Já que o plástico de alta performance PEEK é três vezes mais resistente ao desgaste do que o PPS e os produtos da família TECAPEEK CMP natural são 20% mais resistentes do que outros produtos PEEK da concorrência, a ENSINGER pode proporcionar aqui uma clara vantagem em termos de vida útil.
Geralmente, os materiais CMP para consumo são trocados em múltiplos de 1 (um), sendo esta troca orientada por aqueles que tem a vida mais curta, normalmente a pastilha. Consequentemente, o tempo de troca do anel é frequentemente alinhado ao "pit stop" da pastilha. Por exemplo, sob certas condições, um anel PPS pode durar cerca de 4 trocas de pastilhas, um anel PEEK padrão pode durar até 12 trocas de pastilhas, e um anel CMP TECAPEEK pode durar até 14 trocas de pastilhas. Isto tem um impacto significativo no custo total de manutenção.
Além da otimização das propriedades do material, a Ensinger também desenvolveu tamanhos especiais de tubos que se ajustam melhor aos tamanhos típicos dos anéis de retenção para processos CMP, permitindo assim a redução do desperdício e dos custos durante a usinagem. Por exemplo, a utilização do tamanho do tubo com O.D. 350 mm / I.D. 300 mm permite até 27% de economia de custo material em comparação com o O.D. 360 / I.D. 290 mm convencional.
Como em todas as famílias de materiais semicondutores Ensinger, os tubos de TECAPEEK CMP natural são fabricados sob restritos controles de contaminação, oferecendo conformidade total e com controles de qualidade mais rigorosos em comparação com as classes industriais PEEK. Controles de qualidade e medidas adicionais permitem reduzir os riscos de impurezas e melhorar a tensão interna e a estabilidade dimensional em comparação com o plástico PEEK industrial padrão. Como todos os materiais semicondutores Ensinger, TECAPEEK CMP natural atende às limitações impostas pela Diretiva RoHS 2011/65/EU- Restrição de Substâncias Perigosas em equipamentos elétricos, sendo possível o fornecimento de declarações adicionais de conformidade mediante solicitação
Para anéis de retenção CMP que requerem menor custo de produção e vida útil, a Ensinger oferece uma versão em PPS - TECATRON CMP natural, também com um perfil especial de propriedades alinhado aos anéis de retenção para os processos CMP. Para outras aplicações na área de semicondutores que não requerem este perfil de propriedade especial, a Ensinger oferece uma versão PEEK de grau semicondutor mais econômica, a família TECAPEEK SX natural, disponível nos perfis de chapas, tarugos e tubos.
