TECATRON CMP natural
PPS sem cargas para anéis de retenção CMP
TECATRON CMP natural é um plástico PPS não aditivado (sulfeto de polifenileno) especificamente desenvolvido para aplicação de anéis de retenção no processo de CMP (Chemical Mechanical Planarization or Polishing – Polimento Mecânico Químico) e faz parte do portfólio Ensinger para a indústria de semicondutores. O TECATRON CMP natural é um perfil de propriedade único que, quando comparado a outros polímeros como o PPS, reduz significativamente os riscos de defeitos de pastilhas quando usinado para produção dos anéis de retenção de CMP. O antigo nome do TECATRON CMP natural era TECATRON SE natural.
Um dos grandes desafios ao selecionar materiais para a fabricação de anéis de retenção CMP é avaliar as pequenas diferenças das propriedades de cada material e entender o impacto que isso terá na aspereza dos componentes. O que pode gerar diferentes quantidades de fragmentos e influenciar no desempenho geral do processo de CMP. Estudos demonstraram que o TECATRON CMP otimiza as peças para uma melhor remoção do material, bem como para a redução de defeitos. (Ver estudo sobre o TECATRON SE, que é o antigo nome do TECATRON CMP)
Como em todas as famílias de materiais semicondutores Ensinger, os tubos de TECAPEEK CMP natural são fabricados sob restritos controles de contaminação, oferecendo conformidade total e padrões de qualidade mais rigorosos em comparação com as classes industriais PPS.
Controles de qualidade mais rigorosos e medidas adicionais permitem reduzir os riscos de impurezas e melhorar a tensão interna e a estabilidade dimensional em comparação com o plástico PPS industrial padrão.
Além da otimização das propriedades do material, a Ensinger também desenvolveu tamanhos especiais de tubos que se ajustam melhor aos tamanhos típicos dos anéis de retenção para processos CMP, permitindo assim a redução do desperdício e dos custos durante a usinagem. Por exemplo, a utilização do tamanho do tubo com O.D. 350 mm / I.D. 300 mm permite até 27% de economia de custo material em comparação com o O.D. 360 / I.D. 290 mm convencional.
Para anéis de retenção CMP que requerem uma vida útil mais longa, a Ensinger oferece o TECAPEEK CMP natural, também com um perfil de propriedade especial alinhado aos anéis de retenção CMP. Para outras aplicações de semicondutores PPS que não requerem este perfil de propriedade especial, a Ensinger oferece chapas, tarugos e tubos de um PPS semicondutor mais econômico - TECATRON SX natural.
