TECATRON CMP natural
PPS aangepast voor de halfgeleider industrie
TECATRON CMP natural is een ongevulde PPS-kunststof (polyfenyleensulfide) die specifiek is geoptimaliseerd voor toepassingen als CMP-borgringen en maakt daarmee deel uit van het assortiment van Ensinger voor de halfgeleiderindustrie. TECATRON CMP natural onderscheidt zich door een uniek eigenschappenprofiel dat, bij gebruik als CMP-borgringen, zorgt voor minder microkrassen en defecten op waferniveau dan standaard PPS-polymeer. De vroegere naam van TECATRON CMP natural was TECATRON SE natural.
Een belangrijke uitdaging bij de materiaalkeuze is dat kleine verschillen in de materiaaleigenschappen van de CMP-borgring van invloed zijn op de vorm van de oneffenheden in de pad. Deze wijziging leidt tot verschillende hoeveelheden padfragmenten en beïnvloedt de mate van meevoeren van fragmenten, wat op zijn beurt een aanzienlijke invloed heeft op de algehele prestaties van het CMP-proces. Studies hebben aangetoond dat TECATRON CMP de pads zodanig slijt dat de oneffenheden van de pad worden geoptimaliseerd voor een betere materiaalafname en minder defecten. (Zie studie; het product wordt in het artikel TECATRON SE genoemd, de vroegere naam van TECATRON CMP)
Net als alle Ensinger-halfgeleiderkwaliteiten worden TECATRON CMP-holstafen verwerkt in overeenstemming met de ‘copy exactly’-vereisten voor halfgeleiders (ook bekend als ‘copy exact’ of CE) en ondergaan ze strengere kwaliteitscontroles dan industriële PPS-kwaliteiten.
Extra kwaliteitscontroles en maatregelen zorgen voor een verminderd risico op verontreinigingen en een verbeterde interne spanning en maatvastheid in vergelijking met standaard industriële PPS-materialen.
Naast de optimalisatie van de materiaaleigenschappen heeft Ensinger ook speciale buismaten ontwikkeld die beter aansluiten bij de typische afmetingen van CMP-borgringen, waardoor afval en kosten tijdens de bewerking kunnen worden verminderd. Zo bespaart het gebruik van de buismaat met een buitendiameter van 350 mm en een binnendiameter van 300 mm tot 27 % materiaalkosten in vergelijking met de conventionele maat van 360 mm buitendiameter en 290 mm binnendiameter.
Voor CMP-borgringen die een langere levensduur vereisen, biedt Ensinger een ongevulde PEEK-gebaseerde TECAPEEK CMP natural aan, eveneens met een speciaal eigenschappenprofiel afgestemd op CMP-borgringen. Voor andere halfgeleider-PPS-toepassingen die dit speciale eigenschappenprofiel niet vereisen, biedt Ensinger een kostenefficiëntere PPS-plaat, -staaf en -holstafen van halfgeleiderkwaliteit aan – TECATRON SX natural.
Een belangrijke uitdaging bij de materiaalkeuze is dat kleine verschillen in de materiaaleigenschappen van de CMP-borgring van invloed zijn op de vorm van de oneffenheden in de pad. Deze wijziging leidt tot verschillende hoeveelheden padfragmenten en beïnvloedt de mate van meevoeren van fragmenten, wat op zijn beurt een aanzienlijke invloed heeft op de algehele prestaties van het CMP-proces. Studies hebben aangetoond dat TECATRON CMP de pads zodanig slijt dat de oneffenheden van de pad worden geoptimaliseerd voor een betere materiaalafname en minder defecten. (Zie studie; het product wordt in het artikel TECATRON SE genoemd, de vroegere naam van TECATRON CMP)
Net als alle Ensinger-halfgeleiderkwaliteiten worden TECATRON CMP-holstafen verwerkt in overeenstemming met de ‘copy exactly’-vereisten voor halfgeleiders (ook bekend als ‘copy exact’ of CE) en ondergaan ze strengere kwaliteitscontroles dan industriële PPS-kwaliteiten.
Extra kwaliteitscontroles en maatregelen zorgen voor een verminderd risico op verontreinigingen en een verbeterde interne spanning en maatvastheid in vergelijking met standaard industriële PPS-materialen.
Naast de optimalisatie van de materiaaleigenschappen heeft Ensinger ook speciale buismaten ontwikkeld die beter aansluiten bij de typische afmetingen van CMP-borgringen, waardoor afval en kosten tijdens de bewerking kunnen worden verminderd. Zo bespaart het gebruik van de buismaat met een buitendiameter van 350 mm en een binnendiameter van 300 mm tot 27 % materiaalkosten in vergelijking met de conventionele maat van 360 mm buitendiameter en 290 mm binnendiameter.
Voor CMP-borgringen die een langere levensduur vereisen, biedt Ensinger een ongevulde PEEK-gebaseerde TECAPEEK CMP natural aan, eveneens met een speciaal eigenschappenprofiel afgestemd op CMP-borgringen. Voor andere halfgeleider-PPS-toepassingen die dit speciale eigenschappenprofiel niet vereisen, biedt Ensinger een kostenefficiëntere PPS-plaat, -staaf en -holstafen van halfgeleiderkwaliteit aan – TECATRON SX natural.