TECATRON CMP natural
PPS modificato per l’industria dei semiconduttori
TECATRON CMP natural è un materiale plastico PPS (polifenilensolfuro) non caricato ottimizzato specificamente per la realizzazione di anelli di contenimento CMP ed è parte del portafoglio Ensinger per l'industria dei semiconduttori. TECATRON CMP natural è caratterizzato da un profilo di proprietà unico che consente di ridurre i micrograffi e i difetti a livello di wafer rispetto al polimero PPS standard, quando viene utilizzato come anello di ritenzione CMP. Il nome precedente di TECATRON CMP natural era TECATRON SE natural.
In questo specifico settore una sfida fondamentale nella selezione dei materiali è rappresentata dal fatto che le piccole differenze nelle proprietà dei semilavorati utilizzati per la realizzazione dell'anello di ritenzione CMP influiscono sulla forma delle asperità del pad. Questa modifica causerà una diversa quantità di frammenti di pad e influenzerà l'entità del trascinamento dei frammenti, che a sua volta ha un impatto significativo sulle prestazioni complessive del processo CMP. Gli studi hanno dimostrato che TECATRON CMP usura i pad in modo tale che le asperità dei pad risultino ottimizzate per una migliore rimozione del materiale e una riduzione dei difetti. (Si veda lo studio; nell'articolo il prodotto è chiamato TECATRON SE, che è il precedente nome di TECATRON CMP).
Come tutti i gradi Ensinger per semiconduttori, i forati in TECATRON CMP natural sono lavorati in conformità ai requisiti di copia esatta dei semiconduttori (noti anche come copy exact o CE) e a controlli di qualità più severi rispetto ai gradi PPS industriali.
Ulteriori controlli e misurazioni sulla qualità consentono di ridurre i rischi di impurità e di migliorare le sollecitazioni interne e la stabilità dimensionale rispetto ai materiali PPS industriali standard.
Oltre all'ottimizzazione delle proprietà dei materiali, Ensinger ha anche sviluppato barre forate di dimensioni speciali che si adattano meglio alle dimensioni tipiche degli anelli di contenimento CMP, consentendo così di ridurre gli scarti e i costi durante la lavorazione. Ad esempio, l'utilizzo di forati con diametro esterno di 350 mm e diametro interno di 300 mm consente di risparmiare fino al 27% dei costi del materiale rispetto ai tradizionali diametri esterno di 360 e interno di 290 mm.
Per gli anelli di contenimento CMP che richiedono una maggiore durata, Ensinger offre TECAPEEK CMP natural non caricato a base di PEEK, anch'esso con uno speciale profilo di proprietà allineato agli anelli di contenimento CMP. Per altre applicazioni per semiconduttori in PPS che non richiedono questo speciale profilo di proprietà, Ensinger offre lastre, barre tonde e forate di PPS di grado semiconduttore più conveniente – TECATRON SX natural.
