TECATRON CMP natural
Töltetlen PPS csövek CMP tartógyűrűk gyártásához
A TECATRON CMP natural egy töltetlen PPS műanyag (polifenilén-szulfid), amelyet kifejezetten CMP rögzítőgyűrűs alkalmazásokhoz lett optimalizálva, és így az Ensinger félvezetőipari portfóliójának részét képezi. A TECATRON CMP natural-t olyan egyedi tulajdonságprofil jellemzi, amely a standard PPS-polimerhez képest kevesebb mikrokarcolást és ostyaszintű hibát tesz lehetővé CMP-tartó gyűrűként való alkalmazás esetén. A TECATRON CMP natural korábbi neve TECATRON SE natural volt.
Az anyagválasztás egyik fő kihívása az, hogy a CMP rögzítőgyűrű anyagtulajdonságaiban mutatkozó kis különbségek befolyásolják a pad működésének sikerességét. Ez a módosítás jelentős hatással van a CMP-folyamat általános teljesítményére. A vizsgálatok kimutatták, hogy a TECATRON CMP úgy koptatja a betéteket, hogy a betétek felülete jobb anyageltávolítást és kevesebb hibát mutat. (Lásd a tanulmányt. A termékre a cikkben TECATRON SE néven hivatkozunk, ami a TECATRON CMP korábbi neve).
Mint minden Ensinger félvezető anyagot, a TECATRON CMP natúr csöveket is az iparágra vonatkozó copy exact (más néven CE) követelményeknek és az ipari PPS minőséghez képest szigorúbb minőségellenőrzéseknek megfelelően dolgozzuk fel. A további minőségellenőrzések és intézkedések lehetővé teszik a szennyeződések kockázatának csökkentését, valamint a belső feszültség és a méretstabilitás javítását a szabványos ipari PPS-anyagokhoz képest.
Az anyagtulajdonságok optimalizálása mellett az Ensingernél olyan speciális csőméreteket is kifejlesztettünk, amelyek jobban illeszkednek a CMP rögzítőgyűrűk tipikus méreteibe, így csökkentve a megmunkálás során keletkező hulladékot és költségeket. Például a D.350 mm / d.300 mm csőméret használata akár 27 % anyagköltséget takarít meg a hagyományos D.360 mm / d.290 mm csőhöz képest.
A nagyobb élettartamot igénylő CMP rögzítőgyűrűk számára az Ensinger egy töltetlen PEEK alapú TECAPEEK CMP natural-t kínál, amely szintén a CMP rögzítőgyűrűkhöz igazított speciális tulajdonságprofillal rendelkezik. Más félvezető PPS-alkalmazásokhoz, amelyek nem igénylik ezt a speciális tulajdonságprofil, az Ensinger egy költséghatékonyabb félvezető minőségű PPS lemezt, rudat és csövet kínál: TECATRON SX natural.
