TECATRON CMP natural
rury z PPS bez wypełniaczy do pierścieni ustalających cmp
TECATRON CMP natural to niewypełnione tworzywo sztuczne PPS (polisiarczek fenylenu) zoptymalizowane specjalnie do zastosowań w pierścieniach ustalających CMP, dlatego stanowi część portfolio firmy Ensinger dla przemysłu półprzewodnikowego. TECATRON CMP natural charakteryzuje się unikalnym profilem właściwości, który w przypadku zastosowania jako pierścień ustalający CMP umożliwia zmniejszenie mikrorys i defektów na poziomie płytki, w porównaniu ze standardowym polimerem PPS. TECATRON CMP natural występował wcześniej pod nazwą TECATRON SE natural.
Głównym wyzwaniem przy wyborze materiału jest fakt, że niewielkie różnice we właściwościach materiału pierścienia ustalającego CMP wpłyną na kształt chropowatości pada. Modyfikacja ta spowoduje powstanie różnych ilości fragmentów padów i wpłynie na stopień wyłapywania kawałków, co z kolei ma znaczący wpływ na ogólną wydajność procesu CMP. Badania wykazały, że TECATRON CMP ściera pady w taki sposób, że chropowatość padu jest zoptymalizowana pod kątem lepszego usuwania materiału, jak również zmniejszenia defektów. (Sprawdź badanie, w artykule produkt nosi nazwę TECATRON SE, która jest poprzednią nazwą TECATRON CMP).
Podobnie jak w przypadku wszystkich materiałów klasy półprzewodnikowej firmy Ensinger, rury z TECATRON CMP natural są przetwarzane zgodnie z wymaganiami dotyczącymi dokładnego kopiowania półprzewodników (znanymi również jako copy exact lub CE) oraz bardziej rygorystycznymi kontrolami jakości w porównaniu z przemysłowymi typami PPS.
Dodatkowe kontrole i środki kontroli jakości umożliwiają zmniejszenie ryzyka zanieczyszczeń oraz poprawę naprężeń wewnętrznych i stabilności wymiarowej w porównaniu do standardowego przemysłowego tworzywa PPS.
Dodatkowo, oprócz optymalizacji właściwości materiału, firma Ensinger opracowała również specjalne rozmiary rur, które lepiej pasują do typowych rozmiarów pierścieni ustalających CMP, umożliwiając tym samym redukcję odpadów i kosztów podczas obróbki. Na przykład, w przypadku rur o średnicy zewnętrznej 350 mm / 300 mm średnicy wewnętrznej można zaoszczędzić do 27% kosztów materiałowych w porównaniu z konwencjonalną rurą o średnicy zewnętrznej 360 / 290 mm średnicy wewnętrznej.
W przypadku pierścieni ustalających CMP, które wymagają dłuższej trwałości, firma Ensinger oferuje niewypełniony materiał na bazie PEEK: TECAPEEK CMP natural, który posiada odpowiedni profil właściwości dostosowany do pierścieni ustalających CMP. W przypadku innych zastosowań PPS w branży półprzewodnikowej, które nie wymagają tego specjalnego profilu właściwości, firma Ensinger oferuje tańsze płyty, pręty i rury z materiału PPS klasy półprzewodnikowej – TECATRON SX natural.
