TECATRON CMP natural
用於CMP固定環的未填充PPS管材
TECATRON CMP natural是未填充的PPS塑料（聚苯硫醚），專門針對CMP固定環應用進行了優化，是恩欣格半導體等級產品之一。TECATRON CMP natural的特點是當作為CMP固定環時，與標準PPS聚合物相比，可以減少微劃痕和晶圓缺陷。TECATRON CMP natural的之前被稱為TECATRON SE natural。
材料選擇的一個關鍵挑戰是CMP固定環材料的微小特性差異會影響研磨墊的形狀。此種調整會導致不同數量的研磨墊碎屑並影響碎屑夾帶的程度，進而對CMP加工的整體性能有重大影響。研究表明，TECATRON CMP磨損研磨墊的方式使研磨墊粗糙度得到優化，增強材料移除率並減少缺陷。（見研究，該產品在文章中稱為TECATRON SE，這是TECATRON CMP的前身）
與所有恩欣格半導體等級產品一樣，TECAPEEK CMP natural管材的加工符合半導體精確複製要求（Cope exact,CE），與標準工業等級PPS相比，品質控制更嚴格。 額外的品質控制和措施可以降低雜質風險，並改善內應力和尺寸穩定性。
除了優化材料性能外，恩欣格還開發了特殊的管材尺寸，以更好地適應CMP固定環的尺寸，從而減少加工過程中的浪費和成本。例如，與常見的外徑 360 / 內徑 290 mm 相比，使用外徑 350 mm / 內徑 300 mm 的管材可節省高達 27% 的材料成本。
對於需要更長使用壽命的CMP固定環，恩欣格提供以未填充PEEK為基材的TECAPEEK CMP natural 固定環，還具有CMP固定環一致的特殊性能。對於不需要這種特殊性能的其他半導體PPS應用，恩欣格提供更具成本效益的半導體級PPS板、棒和管 - TECATRON SX natural.
