2022年 10月11日 / ブログ記事

半導体製造工程の一つであるウェット洗浄では様々な洗浄液が使用されており、洗浄装置の部品は高レベルの耐薬品性を持つ必要があります。

金属系素材などと比べ、プラスチック素材は耐薬品性や耐腐食性に非常に優れていますが、薬液種類、濃度、温度、使用期間などによっては、プラスチック素材もダメージを受ける可能性があります。

薬品に接した場合、変色や溶解、膨張、軟化、ストレスクラックが発生することで機械的特性と耐久性が低下することもあります。

部品の破損やシリコンウエハへの汚染を防ぐために、使用条件を把握した上で、適切なプラスチック素材を選定する必要があります。

エンズィンガーの充実した高機能プラスチック素材バリエーションの中から、半導体製造装置部品への採用実績が豊富な素材についての耐薬品性を下記にまとめました。

上記の表は常温環境での耐薬品性をまとめたものです。

温度が上昇すると、耐薬品性の結果は大きく左右されます。

また、薬品に曝される時間やその他の応力負荷も、耐薬品性に影響します。

弊社試験における上記の結果は、保証するものではないため、お客様ご自身で試験片を用いて、最終的な使用条件に近い環境で浸漬試験を行うことを推奨いたします。

また、現在、半導体製造装置部品の需要がひっ迫している中、樹脂素材の供給難が続いています。

そのため、代替材料についてのお問い合わせを多数いただいております。

PEEK樹脂は安定的に原料入手および製造を行っておりますので、不足している樹脂素材からの代替実績が特に増えております。

エンズィンガーはご評価用の無償サンプルを提供しております。

新規材料の耐薬品性などをテストする機会がございましたら、是非、下記商品ページよりサンプル依頼を頂ければ、対応させていただきます。

商品ページへのリンク:

TECAPEEK natural (無添加PEEK) 

TECATRON natural (無添加PPS)

TECAPEI natural (無添加PEI)

TECAFLON PVDF natural  (無添加PVDF)

TECAPET white  (無添加PET)

TECAFORM AH natural (無添加POM-C)

TECASINT 4011 natural (無添加PI)

上記以外のプラスチック素材や薬液、濃度、使用温度でのデータもご提供可能ですので、お気軽にお問い合わせフォームよりご相談ください。