TECADUR PET CMP natural

半導体製造CMP向けPET

半導体製造のCMP(化学機械研磨処理)装置向けPET素材です。優れた耐薬品性と、CMP向けに最適化された耐摩耗特性と摩擦特性をあわせ持っています。

基本情報

プラスチックの種類
PET (ポリエチレンテレフタレート)
白色
比重
1,39 g/cm3

主な特徴

  • 高い強度
  • 良好な滑り性と摩耗特性
  • 良好な耐摩耗性
  • 良好な溶着(溶接)性と接着性
  • 60℃以上の熱湯に耐えることができない
  • 非常に強靱
  • 良好な耐薬品性
  • 高い剛性

使用分野

ダウンロード

物性表


  • 機械特性
    機械特性単位測定条件規格
    ボール圧入硬度194MPaISO 2039-1
    シャルピー衝撃強度150kJ/m2max. 7,5JDIN EN ISO 179-1eU
    圧縮弾性率2800MPa5mm/min, 10 NEN ISO 604
    圧縮強度38MPa1% / 2%EN ISO 604
    曲げ弾性率3400MPa2mm/min, 10 NDIN EN ISO 178
    引張破断伸度14%50mm/minDIN EN ISO 527-2
    引張強度91MPa50mm/minDIN EN ISO 527-2
    引張降伏強度91MPa50mm/minDIN EN ISO 527-2
    引張降伏伸度4%50mm/minDIN EN ISO 527-2
    曲げ強度134MPa2mm/min, 10 NDIN EN ISO 178
    引張弾性率3300MPa1mm/minDIN EN ISO 527-2
  • 熱特性
    熱特性単位測定条件規格
    ガラス転移点81CDIN EN ISO 11357
    使用温度170Cshort termNN
    線膨張係数(CLTE)1010-5*1/K23-100°C, long.DIN EN ISO 11359-1;2
    線膨張係数(CLTE)810-5*1/K23-60°C, long.DIN EN ISO 11359-1;2
    使用温度110Clong termNN
    融点244CDIN EN ISO 11357
  • 電気特性
    電気特性単位測定条件規格
    体積固有抵抗値1014O*cmDIN IEC 60093
    表面電気抵抗1014ODIN IEC 60093
  • その他の諸特性
    その他の諸特性単位測定条件規格
    吸水率0.03%24h / 96h (23°C)DIN EN ISO 62
    熱水耐性・耐アルカリ性---
    耐候性--NN
    難燃性(UL94)HB-corresponding toDIN IEC 60695-11-10;

サイズ一覧