Wafer Klemmring

Komponenten, die den Wafer umgeben, wie z. B. Klemmringe, müssen den strengen Bedingungen und Kräften in den Prozesskammern standhalten. Abhängig von den Prozessbedingungen ist die Wahl des richtigen Materials für den Wafer Klemmring entscheidend für die Gewährleistung von Maßhaltigkeit und mechanischer Stabilität, was sich direkt auf die Prozessleistung und den Ertrag auswirkt. Neben Eigenschaften wie mechanische Festigkeit, Temperaturbeständigkeit, chemische Beständigkeit und in einigen Fällen Plasmabeständigkeit muss das Waferringmaterial auch einen hohen Reinheitsgrad und geringe Ausgasung aufweisen, um Verunreinigungen und Defekte zu minimieren. 

Bei Nassprozessen, wie z. B. Nassbänken, Einzelwafer-Reinigungsanlagen, Beschichtungs-/Entwicklungsanlagen oder CMP, konzentrieren sich die Anforderungen an das Material der Komponenten auf chemische Beständigkeit, Dimensionsstabilität, Reinheit und Festigkeit. In den meisten Fällen werden die Klemmringe aus ungefülltem PEEK Kunststoff,  TECAPEEK SX natur oder ungefülltem PPS Kunststoff, TECATRON SX natur hergestellt. PEEK wird üblicherweise für Teile verwendet, die höheren Temperaturen und mechanischen Belastungen ausgesetzt sind, während der thermoplastische Kunststoff PPS die wirtschaftlichere Alternative für Teile mit weniger strengen Anforderungen ist. Für Klemmringe, die eine höhere Festigkeit erfordern wird häufig PEEK CF30, TECAPEEK CF30 schwarz verwendet. Bei Anforderungen an die elektrostatische Ableitfähigkeit werden elektrisch leitfähige Materialien wie TECAPEEK ELS nano black und TECAPEEK ELS CF30 black als Schellenringmaterial gewählt. 

Mit unserem PPS Werkstoff TECATRON SX natur und dem PEEK Werkstoff TECAPEEK SX natur bietet Ensinger ein breites Spektrum an Rohrgrößen für die Anforderungen der Halbleiterindustrie. Neben einer großen Auswahl an lagerhaltigen Rohrgrößen sind auch kundenspezifische Abmessungen auf Anfrage erhältlich.