Anel de fixação de wafer

Equipamentos de fabricação de semicondutores dependem de uma ampla variedade de diferentes componentes fabricados em plásticos de alta performance. Entre outras peças, anéis de wafer, ou mais precisamente anéis de fixação de wafer, são comumente utilizados para suportar e posicionar com precisão o wafer ao longo de diversas operações de processamento. A fixação do wafer é fundamental para manter tolerâncias precisas de processamento, garantindo assim o rendimento dos wafers.

Componentes ao redor do wafer, como anéis de fixação, precisam suportar as rigorosas condições e forças presentes nas câmaras de processamento. Dependendo das condições do processo, a escolha correta do material para o anel de fixação de wafer é essencial para garantir estabilidade dimensional e mecânica, o que impacta diretamente o desempenho do processo e o rendimento. Além de propriedades como resistência mecânica, resistência à temperatura, resistência química e, em alguns casos, resistência ao plasma, o material do anel de wafer também precisa apresentar altos níveis de pureza e baixa liberação de gases (outgassing) para minimizar contaminação e defeitos.

Em processos úmidos, como wet benches, single wafer cleaner, coater/developer ou CMP, os requisitos de material dos componentes se concentram em resistência química, estabilidade dimensional, pureza e resistência mecânica. Na maioria dos casos, os anéis de fixação são fabricados em PEEK sem carga, TECAPEEK SX natural, ou PPS sem carga, TECATRON SX natural. O PEEK é comumente utilizado para peças expostas a temperaturas mais elevadas e maiores esforços mecânicos, enquanto o termoplástico PPS é a alternativa mais econômica para peças com requisitos menos exigentes. Para anéis de fixação que exigem maior resistência, o PEEK CF30, TECAPEEK CF30 black, é amplamente utilizado. Para requisitos de descarga eletrostática, materiais eletricamente condutivos como TECAPEEK ELS nano black e TECAPEEK ELS CF30 black são escolhidos como material para anéis de fixação.

Com nosso material PPS TECATRON SX natural e material PEEK TECAPEEK SX natural, a Ensinger oferece uma ampla gama de dimensões de tubos para atender às demandas da indústria de semicondutores. Além de uma ampla variedade de tamanhos de tubos em estoque, dimensões sob encomenda estão disponíveis mediante solicitação.