Anillo de sujeción de obleas

Los equipos de fabricación de semiconductores dependen de una amplia gama de diferentes componentes fabricados con plásticos de alto rendimiento. Entre otras piezas, los anillos para obleas o, más exactamente, los anillos de sujeción de obleas, se utilizan habitualmente para soportar y posicionar con precisión la oblea a lo largo de diversas operaciones de procesamiento. Sujetar la oblea es fundamental para mantener unas tolerancias de procesamiento precisas, manteniendo así el rendimiento de las obleas.

Los componentes que rodean la oblea, como los anillos de sujeción, deben soportar las estrictas condiciones y fuerzas de las cámaras de procesamiento. Dependiendo de las condiciones de procesado, la elección del material adecuado para el anillo de sujeción de la oblea es esencial para garantizar la estabilidad dimensional y mecánica, lo que repercute directamente en el rendimiento y las prestaciones del proceso. Además de propiedades como la resistencia mecánica, la resistencia a la temperatura, la resistencia química y, en algunos casos, la resistencia al plasma, el material del anillo para obleas también tiene que mostrar altos niveles de pureza y baja desgasificación para minimizar la contaminación y los defectos.

En los procesos húmedos, como los bancos húmedos, el limpiador de obleas individuales, el recubridor/desarrollador o el CMP, los requisitos del material de los componentes se centran en la resistencia química, la estabilidad dimensional, la pureza y la resistencia. En la mayoría de los casos, los anillos de sujeción están hechos de plástico PEEK sin relleno, TECAPEEK SX natural o de plástico PPS sin relleno, TECATRON SX natural. El PEEK se utiliza habitualmente para piezas expuestas a temperaturas y tensiones mecánicas más elevadas, mientras que el termoplástico PPS es la alternativa más económica para piezas con requisitos menos estrictos. Para los anillos de apriete que requieren una mayor resistencia, se utiliza mucho el PEEK CF30, TECAPEEK CF30 black. Para los requisitos de descarga electrostática, se eligen como material de los anillos de apriete materiales conductores de la electricidad como TECAPEEK ELS nano black y TECAPEEK ELS CF30 black.

Con nuestro material de PPS TECATRON SX natural y el material de PEEK TECAPEEK SX natural Ensinger ofrece una amplia gama de dimensiones de tubo para las demandas de la industria de semiconductores. Además de una amplia gama de tamaños de tubo en stock, se pueden solicitar dimensiones a medida.