Anillos de retención CMP

Una proporción sustancial del coste total del anillo de retención consiste en el coste del material del anillo. Elegir el tamaño de tubo de plástico más adecuado para el anillo de retención mecanizado permite reducir los residuos y el esfuerzo de mecanizado, lo que repercute significativamente en el coste del material. Por ejemplo, cambiar del tamaño estándar de la industria OD360/ID290 mm con 58,3 kg/m al tamaño más pequeño OD350/ID300 mm de TECAPEEK CMP con 42,2 kg/m supone hasta un 27 % de desperdicio de material y ahorro de costes. Con casi 4000 combinaciones diferentes de polímeros y dimensiones de tubo, Ensinger ofrece la mejor cartera de productos de tamaño de tubo del sector.

Con nuestro material de PPS TECATRON SX natural y el material de PEEK TECAPEEK SX natural Ensinger ofrece una amplia gama de dimensiones de tubo para las demandas de la industria de semiconductores. Además de una amplia gama de tamaños de tubo en stock, se pueden solicitar dimensiones a medida.

Póngase en contacto con nosotros si necesita tamaños no mencionados en el resumen anterior. Comprobaremos los ajustes específicos del cliente para acercarnos lo más posible al tamaño final de la pieza.

El material del anillo de retención es el principal factor que influye en la tasa de desgaste del anillo. Una menor resistencia al desgaste conduce a un cambio frecuente de los anillos y contribuye así a una menor utilización de la herramienta y a un mayor coste de propiedad. En general, el PEEK ofrece una resistencia al desgaste hasta tres veces superior a la del PPS, lo que prolonga considerablemente la vida útil de los anillos. Además, el PEEK CMP ofrece hasta un 20% más de resistencia al desgaste que el PEEK estándar de la industria.

Pequeñas diferencias en las propiedades del material del anillo de retención CMP pueden alterar la microtextura de la almohadilla, provocar diferentes cantidades de fragmentos y virutas de almohadilla y dar lugar a diferentes formas de las asperezas de la almohadilla. Por ejemplo, en comparación con el uso del PPS de la competencia, la forma TECATRON CMP de Ensinger desgasta las almohadillas de manera que las asperidades de las almohadillas se optimizan para mejorar la eliminación de material y reducir los defectos. La reducción del nivel de troqueles defectuosos y la mejora del rendimiento tienen un impacto significativo en el coste de propiedad.
Más información: Estudio de caso Anillo de retención CMP

Otras fuentes de microarañazos son el desgaste de la ranura del anillo interior (también conocido como ataques laterales), que provoca que las paredes del anillo interior sean desiguales e induce a que el lodo y otras partículas se adhieran a la pared, se aglomeren, se desprendan posteriormente y rayen la oblea. El desgaste de la ranura interior no es un gran problema con el PPS o el PC, ya que el material se desgasta en la cara del anillo a un ritmo tal que la ranura interior siempre ve material nuevo. Sin embargo, los materiales de alto rendimiento como el PEEK ofrecen una gran resistencia al desgaste en la cara del anillo, por lo que el desgaste de la ranura interior puede producirse y causar defectos excesivos. El perfil de propiedades del material del anillo, en particular el equilibrio entre ductilidad y dureza, influye en el comportamiento de desgaste de la ranura interior. Ensinger ha desarrollado la forma TECAPEEK CMP con un perfil de propiedades optimizado que permite reducir el desgaste de la ranura interior en comparación con el PEEK estándar.
Otro factor que influye en el desgaste de la ranura interior es la deformación de la redondez del anillo. La deformación durante el desgaste puede deberse a la liberación de tensiones residuales en el material inducidas por el proceso de moldeo. Todos los materiales CMP de Ensinger se fabrican mediante extrusión, lo que minimiza los niveles de tensión residual y mejora la cristalinidad, permitiendo una mayor estabilidad dimensional que otros métodos de procesado como el moldeo por inyección.

Una planitud uniforme y menos desviaciones del grosor del anillo son vitales para minimizar la deformación y el rebote de las almohadillas, que provocan una eliminación irregular del material y un pulido excesivo en los bordes de las obleas. Una mayor uniformidad de la tasa de eliminación de material (MRR) permite una menor no uniformidad dentro de la oblea (WIWNU) y tiene un impacto significativo en el rendimiento. En general, un menor nivel de tensión residual en el material del anillo de retención permite mejorar la planitud del anillo de retención y el ángulo de contacto. Los materiales tubulares de Ensinger para los anillos de retención CMP se fabrican mediante tecnología de extrusión, que es un proceso lento y continuo que permite niveles de tensión residual más bajos que otros métodos de fabricación como el moldeo por inyección. Los anillos extruidos permiten un perfil de propiedades más consistente que los anillos moldeados por inyección, ya que no hay línea de soldadura, lo que también contribuye a una mejor estabilidad dimensional.

Las impurezas iónicas del polímero o de los aditivos pueden filtrarse y provocar contaminaciones. Todas las calidades de material CMP de Ensinger utilizan polímeros puros, lo que evita el riesgo de contaminación. Además de la pureza del material base, las impurezas también pueden moldearse durante la fabricación del material. En general, el proceso de extrusión permite un mejor control del producto y una mayor consistencia de la calidad que el moldeo por inyección, lo que reduce los riesgos de contaminación. Además, todos los grados de material CMP de Ensinger se someten a controles de calidad más exhaustivos que los grados de uso general, lo que se traduce en una mayor seguridad frente a partículas extrañas.

Prueba según ICP-MS, niveles de concentración indicados en ppm; (n.t.= no probado)

Ensinger gestiona eficazmente las existencias y los sistemas de planificación de la demanda global para garantizar que ofrecemos la mejor disponibilidad y rendimiento de entrega de materiales para tubos CMP del sector. Almacenes de todo el mundo almacenan ampliamente nuestros materiales CMP. Además, la estrecha colaboración y las garantías de suministro con los principales proveedores de materias primas permiten a Ensinger minimizar los riesgos de cuellos de botella en las entregas.