Soporte para obleas de banco húmedo

Las herramientas de fabricación de semiconductores utilizan una amplia gama de componentes fabricados con plásticos de alto rendimiento. En particular, las herramientas de proceso húmedo dependen de cámaras, depósitos, sistemas de tuberías y piezas fabricadas con termoplásticos debido a su alto nivel de resistencia química y a la corrosión. Al elegir la familia de polímeros óptima, los componentes de plástico pueden soportar incluso la combinación más dura de productos químicos utilizados para procesar y limpiar las obleas.

Mientras que los depósitos del proceso húmedo y los sistemas de suministro de productos químicos suelen estar fabricados con fluoropolímeros que ofrecen el máximo nivel de resistencia química, estos materiales no ofrecen suficiente resistencia y rigidez para las piezas sometidas a esfuerzos mecánicos. Por ejemplo, los componentes de movilidad de las obleas en las herramientas del proceso húmedo suelen estar fabricados con termoplásticos de alto rendimiento como el PEEK debido a sus excelentes propiedades mecánicas en combinación con una buena resistencia química. Entre los componentes de movilidad de las obleas se incluyen los soportes o portadores de obleas, que suelen utilizarse para introducir las obleas en los tanques de proceso y moverlas entre los distintos pasos del proceso. Además del requisito de las propiedades mecánicas, las piezas de movilidad de las obleas tienen que proporcionar elevados niveles de pureza iónica y mantener el cumplimiento exacto de las copias.

En este estudio de caso, se ha seleccionado la forma TECAPEEK SX natural, PEEK sin relleno de grado semiconductor, para un soporte de obleas de banco húmedo. La función de los soportes de obleas es sumergir múltiples obleas en varios baños de procesamiento químico. Las piezas de PEEK sujetan las obleas por los laterales para permitir que los productos químicos líquidos accedan sin obstáculos a las obleas al introducirlas en el baño. El número de obleas que se sujetan se maximiza para mejorar el rendimiento de las obleas, a la vez que se mantiene un espacio suficiente y constante entre las obleas para permitir el paso de los líquidos. El material debe ser muy estable dimensionalmente para mantener las estrechas tolerancias del espaciado entre ranuras, manteniendo así la precisión de la posición de las obleas. Además, el material debe proporcionar elevados niveles de resistencia y rigidez, así como resistencia al desgaste para mantener la precisión dimensional y maximizar la vida útil de la pieza bajo una elevada carga de obleas y cientos de miles de ciclos de limpieza. El PEEK cumple los requisitos de estabilidad dimensional durante un periodo prolongado gracias a su elevada rigidez y resistencia a la fluencia, así como a su baja absorción de agua. El PEEK ofrece una excelente combinación de elevadas propiedades mecánicas con un alto nivel de resistencia química.

Puede ver más de cerca el soporte para obleas de banco húmedo de Ensinger fabricado con TECAPEEK SX haciendo zoom y girando aquí:

Como orientación general, la siguiente tabla proporciona una visión general de la resistencia a los productos químicos más comunes utilizados en las herramientas de proceso húmedo, a temperatura ambiente y sin carga mecánica. Esta información no asegura ni garantiza la resistencia química de nuestros productos, ya que la resistencia química del plástico depende en gran medida de la temperatura, la formulación y las condiciones de funcionamiento. Póngase en contacto con nosotros para obtener más información sobre la resistencia química y asesoramiento sobre la selección de materiales.

Resistencia química a temperatura ambiente

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