TECAPEEK CMP natural

PEEK für CMP-Anwendungen

TECAPEEK CMP ist ein Victrex® PEEK Polymer, das speziell für Anwendungen in der Halbleiterindustrie und insbesondere für Teile in CMP-Ausrüstung (chemisch-mechanische Planarisierung) modifiziert wird. Dieser Werkstoff bietet das für PEEK übliche Eigenschaftenprofil, zu dem eine hohe mechanische Festigkeit und Dimensionsstabilität für engste Bauteiltoleranzen und eine geringe Kriechneigung gehören. TECAPEEK CMP bietet eine höhere Reinheit als standardmäßiges TECAPEEK. Das Eigenschaftenprofil dieser PEEK CMP Modifikation wird mit einer hervorragenden Chemikalienbeständigkeit und speziell verbesserten Abrieb- und Reibungseigenschaften abgerundet.

Eigenschaften:

Chemische Bezeichnung:
PEEK (Polyetheretherketon)
Farbe:
beige
Dichte:
1,31 g/cm3

Hauptmerkmale:

  • gute Wärmeformbeständigkeit
  • gut zerspanbar
  • inhärent flammwidrig
  • hydrolyse- und heißdampfbeständig
  • hohe Zähigkeit
  • beständig gegen energiereiche Strahlung
  • gute Gleit- Reibeigenschaften
  • hohe Kriechfestigkeit

Zielindustrien:

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Technische Eigenschaften


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    Mechanische Eigenschaften Wert Einheit Parameter Norm
    Druckfestigkeit 34 MPa 1% / 2% EN ISO 604
    Biege-Elastizitätsmodul 3900 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Biegefestigkeit 160 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Bruchdehnung (Zugversuch) 50 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Streckspannung 110 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Streckdehnung (Zugversuch) 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Zug-Elastizitätsmodul 4100 MPa 1mm/min DIN EN ISO 527-2
    Zugfestigkeit 110 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Kugeldruckhärte 240 MPa ISO 2039-1
    Schlagzähigkeit (Charpy) n.b. kJ/m2 max. 7,5J DIN EN ISO 179-1eU
    Druck-Elastizitätsmodul 3200 MPa 5mm/min, 10 N EN ISO 604
    Kerbschlagzähigkeit (Izod) 4 kJ/m2 DIN EN ISO 179-1eA
  • product-technical-detail-collapse-item-1-lvl-1
    Thermische Eigenschaften Wert Einheit Parameter Norm
    Wärmeausdehnung (CLTE) 6 10-5*1/K 23-100°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
    Wärmeausdehnung (CLTE) 5 10-5*1/K 23-60°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
    Einsatztemperatur 260 C dauernd NN
    Formbeständigkeitstemperatur 162 C HDT, Method A ISO-R 75 Method A
    Einsatztemperatur 300 C kurzzeitig NN
    Schmelztemperatur 340 C DIN EN ISO 11357
    Glasübergangstemperatur 151 C DIN EN ISO 11357
    Wärmeleitfähigkeit 0.27 W/(k*m) ISO 22007-4:2008
    Spezifische Wärmekapazität 1.1 J/(g*K) ISO 22007-4:2008
    Wärmeausdehnung (CLTE) 7 10-5*1/K 100-150°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
  • product-technical-detail-collapse-item-2-lvl-1
    Elektrische Eigenschaften Wert Einheit Parameter Norm
    spezifischer Oberflächenwiderstand 1015 O Silberelektrode, 23°C, 12% rel. LF DIN IEC 60093
    spezifischer Durchgangswiderstand 1015 O*cm Silberelektrode, 23°C, 12% rel. LF DIN IEC 60093
    Durchschlagsfestigkeit 73 kV/mm 23°C, 50% rel. LF ISO 60243-1
    Kriechstromfestigkeit (CTI) 125 V Platinelektrode, 23°C, 50% rel. LF, Lösung A DIN EN 60112
  • product-technical-detail-collapse-item-3-lvl-1
    Sonstige Eigenschaften Wert Einheit Parameter Norm
    Beständigkeit gegen heißes Wasser/ Laugen + - -
    Verhalten bei Freibewitterung - - -
    Wasseraufnahme 0.03 % 24h / 96h (23°C) DIN EN ISO 62

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