TECATRON SX natural

Modificeret PPS til halvlederindustrien

Denne modificerede Polyphenylensulfid, eller PPS plast, er en højtydende plast, som er udviklet specielt til anvendelser i halvlederindustrien. Særligt kombinationen af fremragende slid- og glidegenskaber, gør PPS materialet anvendeligt til CMP (Chemical Mechanical Planarization) anvendelser. Denne PPS polymer kombinerer fremragende mekaniske egenskaber med en meget høj varme- og kemisk resistens, og gør den ideel som halvleder plast. På grund af materialets høje grad af ion renhed, er TECATRON SX natural PPS materialet, som skal vælges til anvendelser i halvlederindustrien, for eksempel til produktion af wafers.

Compliance

Fakta

Kemisk betegnelse
PPS (Polyphenylensulfid)
Farve
beige
Densitet
1,36 g/cm3

Vigtigste egenskaber

  • god varmeafbøjningstemperatur
  • god kemisk resistens
  • resistens overfor højenergi stråling
  • høj styrke
  • høj dimensionsstabilitet
  • høj stivhed
  • høj kryberesistens

Målindustrier

Tekniske detaljer


  • product-technical-detail-collapse-item-0-lvl-1
    Mekaniske egenskaber Værdi Enhed Parameter Norm
    Elasticitetsmodul (tensile test) 4000 MPa 1mm/min DIN EN ISO 527-2
    Trækstyrke 102 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Trækforsøg -Forlængelse ved brud 100 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Brudforlængelse 11 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Bøjningsstyrke 151 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Elasticitetsmodul (flexural test) 4000 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Kompressionsmodul 3300 MPa 5mm/min, 10 N EN ISO 604
    Kompressionsstyrke 20 - 38 MPa 1% / 2% EN ISO 604
    Slagstyrke (Charpy) 56 kJ/m2 max. 7.5J DIN EN ISO 179-1eU
    Shore hårdhed 87 D DIN EN ISO 868
  • product-technical-detail-collapse-item-1-lvl-1
    Termiske egenskaber Værdi Enhed Parameter Norm
    Glasovergangstemperatur 97 C DIN EN ISO 11357
    Smeltetemperatur 281 C DIN EN ISO 11357
    Termisk ledeevne 0.25 W/(k*m) ISO 22007-4:2008
    Specifik varme 1.0 J/(g*K) ISO 22007-4:2008
    Servicetemperatur 260 C short term NN
    Servicetemperatur 230 C long term -
    Termisk udvidelse (CLTE) 6 10-5*1/K 23-60°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
    Termisk udvidelse (CLTE) 7 10-5*1/K 23-100°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
    Termisk udvidelse (CLTE) 12 10-5*1/K 100-150°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
  • product-technical-detail-collapse-item-2-lvl-1
    Elektriske egenskaber Værdi Enhed Parameter Norm
    Specifik overflademodstand 1014 DIN IEC 60093
    Specifik volumen resistens 1014 Ω*cm DIN IEC 60093
  • product-technical-detail-collapse-item-3-lvl-1
    Andre egenskaber Værdi Enhed Parameter Norm
    Resistens overfor hedt vand / baser + - -
    Brandbarhed (UL94) V0 - corresponding to DIN IEC 60695-11-10;
    Resistens overfor vejrpåvirkning - - -
    Vandabsorption <0.01 - 0.01 % 24h / 96h (23°C) DIN EN ISO 62
  • product-technical-detail-collapse-item-4-lvl-1
    Relativ omkostning Værdi Enhed Parameter Norm
    Relative omkostninger fra € til €€€€€€ €€€

Lagerprogram