TECAPEEK CMP natural

TUBOS DE PEEK PARA ANILLOS DE RETENCIÓN CMP

TECAPEEK CMP natural se desarrolló específicamente para la aplicación de anillos de retención CMP y forma parte del catálogo de productos de Ensinger para la industria de semiconductores. Se trata de un material plástico PEEK sin aditivar (polieteretercetona) basado en el polímero Victrex® PEEK. 

Cuando se mecaniza en anillos de retención CMP, las propiedades especiales del material PEEK permiten un menor desgaste de la ranura interior (también conocido como ataque lateral) en comparación con el plástico PEEK estándar, lo que reduce significativamente los riesgos de defectos en las obleas. Entre los materiales para anillos de retención CMP, TECAPEEK CMP ofrece las mejores características de abrasión y fricción, propiedades mecánicas, estabilidad dimensional y resistencia a la temperatura, lo que permite una vida útil más prolongada del anillo.  

Generalmente, los consumibles CMP se cambian en múltiplos del que tenga la vida útil más corta, generalmente la almohadilla. En consecuencia, el tiempo de sustitución del anillo a menudo coincide con la "parada en boxes" de la almohadilla. Por ejemplo, bajo ciertas condiciones, un anillo PPS puede durar aproximadamente 4 cambios de almohadilla, un anillo de PEEK estándar puede durar hasta 12 cambios de almohadilla y un anillo de TECAPEEK CMP puede durar hasta 14 cambios de almohadilla. Esto tiene un impacto favorable significativo en la tasa de cambio del anillo y en el coste total de propiedad.

Además de la optimización de las propiedades del material, Ensinger también ha desarrollado tamaños de tubo especiales que se ajustan mejor a los tamaños típicos de los anillos de retención CMP, lo que permite reducir los residuos y los costes durante el mecanizado. Por ejemplo, el uso del tamaño de tubo con un D.E. 350 mm / D.I. 300 mm permite hasta un 27 % de ahorro en costes de material en comparación con el D.E. 360 / D.I. 290 mm convencional.

Al igual que todos los grados de semiconductores de Ensinger, los tubos de TECAPEEK CMP natural se procesan de acuerdo con los requisitos de copia exacta de semiconductores (también conocidos como copia exacta o CE) y con controles de calidad más estrictos en comparación con los grados industriales de PEEK. Los controles y medidas de calidad adicionales permiten reducir los riesgos de impurezas y mejorar la tensión interna y la estabilidad dimensional en comparación con el PEEK industrial estándar. Podemos confirmar que TECATRON SX natural cumple con las limitaciones impuestas por la Directiva RoHS 2011/65/UE sobre la Restricción de Sustancias Peligrosas en Equipos Eléctricos, y también podemos proporcionar declaraciones de conformidad adicionales previa solicitud.

Para los anillos de retención de CMP que requieren menor coste de material y que se pueden utilizar durante un período más corto de vida útil, Ensinger ofrece una versión PPS - TECATRON CMP natural, también con un perfil de propiedades especial coincidente con los anillos de retención de CMP. Para otras aplicaciones de semiconductores que no requieran este perfil de propiedades especial, Ensinger ofrece una versión PEEK de grado semiconductor más rentable en forma de placas, barras y tubos: TECAPEEK SX natural.

Conformidad

Datos

Compatibilidad química
PEEK (Polieteretercetona)
Color
beige
Densidad
1,31 g/cm3

Características principales

  • alta temperatura de deformación bajo carga (HDT)
  • buena mecanizabilidad
  • retardante a la llama inherente
  • resistente a la hidrólisis y al vapor
  • Alta tenacidad
  • resistente contra alta radiación
  • buenas propiedades tribológicas
  • alta resistencia al creep

Industrias objetivo

Datos técnicos


  • product-technical-detail-collapse-item-0-lvl-1
    Propiedades mecánicas Valor Unidad Parametros Norma
    Módulo de elasticidad (ensayo a tracción) 4100 MPa DIN EN ISO 527-2
    Resistencia a tracción 110 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Tensión límite elástico 110 MPa 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Elongación a la fluencia 4 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Elongación a rotura 50 % 50mm/min DIN EN ISO 527-2
    Resistencia a flexión 160 MPa DIN EN ISO 178
    Módulo de elasticidad (ensayo a flexión) 3900 MPa 2mm/min, 10 N DIN EN ISO 178
    Módulo de compresión 3200 MPa EN ISO 604
    Resistencia a compresión 15 - 34 MPa EN ISO 604
    Resistencia al impacto (Charpy) n.b. kJ/m2 DIN EN ISO 179-1eU
  • product-technical-detail-collapse-item-1-lvl-1
    Propiedades térmicas Valor Unidad Parametros Norma
    Temperatura de transición vítrea 151 C DIN EN ISO 11357
    Temperatura de fusión 340 C DIN EN ISO 11357
    Temperatura de deformación bajo carga (HDT) 162 C HDT, Método A ISO-R 75 Method A
    Conductividad térmica 0.27 W/(k*m) ISO 22007-4:2008
    Calor específico 1.1 J/(g*K) ISO 22007-4:2008
    Temperatura de servicio 300 C corto tiempo NN
    Temperatura de servicio 260 C servicio continuo NN
    Expansión térmica (CLTE) 5 10-5*1/K 23-60°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
    Expansión térmica (CLTE) 6 10-5*1/K 23-100°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
    Expansión térmica (CLTE) 7 10-5*1/K 100-150°C, long. DIN EN ISO 11359-1;2
  • product-technical-detail-collapse-item-2-lvl-1
    Propiedades eléctricas Valor Unidad Parametros Norma
    Resistencia superficial específica 1015 Electrodo de plata, 23ºC,12% h.r. -
    Resistencia volumétrica específica 1015 Ω*cm Silver electrode, 23°C, 12% r.h. -
    Rigidez dieléctrica 73 kV/mm ISO 60243-1
    Resistencia al tracking (CTI) 125 V Electrodo de platino, 23ºC, 50% h.r. disolvente A DIN EN 60112
  • product-technical-detail-collapse-item-3-lvl-1
    Otras propiedades Valor Unidad Parametros Norma
    Resistencia al agua caliente + - -
    Resistencia a la intemperie - - -
    Absorción de agua 0.02 - 0.03 % 24h / 96h (23°C) DIN EN ISO 62
  • product-technical-detail-collapse-item-4-lvl-1
    Costes relativos Valor Unidad Parametros Norma
    Relative costs EU from € to €€€€€€ €€€€€

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