TECAPEEK CMP natural
PEEK rørFOR CMP holderinge
TECAPEEK CMP natural er specielt udviklet til CMP-holderringe og er en del af Ensingers portefølje til halvlederindustrien. Det er et ufyldt PEEK-plastmateriale (polyetheretherketon) baseret på Victrex® PEEK-polymer.
Når det bearbejdes til CMP-holderringe, giver de særlige peek-materialeegenskaber mindre slid i den indre rille (også kendt som sideangreb) sammenlignet med standard PEEK-plast, hvilket reducerer risikoen for wafer-defekter betydeligt. Blandt CMP-ringmaterialerne har TECAPEEK CMP de bedste slid- og friktionsegenskaber, mekaniske egenskaber, dimensionsstabilitet og temperaturbestandighed, hvilket giver ringene den længste levetid.
Da slidstyrken for PEEK-plast er tre gange bedre end for PPS, og TECAPEEK CMP naturligvis har 20 % bedre slidstyrke end konkurrerende PEEK-produkter, er der en klar fordel med hensyn til levetid.
Generelt udskiftes CMP-forbrugsmaterialer i multipler af det, der har den korteste levetid, typisk puden. Derfor er timingen for udskiftning af ringe ofte tilpasset "pit stop" for rondellen. For eksempel kan en PPS-ring under visse forhold holde til ca. 4 padskift, en standard PEEK-ring kan holde til op til 12 padskift, og en TECAPEEK CMP-ring kan holde til op til 14 padskift. Det har en betydelig positiv indvirkning på ringudvekslingskursen og de samlede ejeromkostninger.
Ud over optimeringen af materialeegenskaberne har Ensinger også udviklet specielle rørstørrelser, der passer bedre til typiske størrelser af CMP-fastholdelsesringe, hvilket giver mindre spild og færre omkostninger under bearbejdningen. Hvis man f.eks. bruger rørstørrelsen med O.D. 350 mm / I.D. 300 mm, kan man spare op til 27 % på materialeomkostningerne sammenlignet med konventionelle O.D. 360 / I.D. 290 mm.
Som med alle Ensingers halvlederkvaliteter behandles TECAPEEK CMP naturrør i overensstemmelse med halvlederkravene om nøjagtig kopiering (også kendt som copy exact eller CE) og strengere kvalitetskontrol sammenlignet med industrielle PEEK-kvaliteter. Yderligere kvalitetskontrol og -foranstaltninger reducerer risikoen for urenheder og forbedrer den indre spænding og dimensionsstabilitet sammenlignet med standard industriel PEEK-plast. Vi kan bekræfte, at TECATRON SX natural lever op til begrænsningerne i RoHS-direktivet 2011/65/EU Restriction of Hazardous Substances in electrical equipment, og vi kan også levere yderligere overensstemmelseserklæringer på anmodning.
Til CMP-holderringe, der kræver lavere materialeomkostninger, og hvor en lavere levetid kan udnyttes, tilbyder Ensinger en PPS-version - TECATRON CMP natural, også med en særlig egenskabsprofil, der er tilpasset CMP-fastholdelsesringe. Til andre halvlederanvendelser, der ikke kræver denne særlige egenskabsprofil, tilbyder Ensinger en mere omkostningseffektiv PEEK-version til halvledere som plader, stænger og rør. – TECAPEEK SX natural.
