TECATRON CMP natural
Ungefüllte PPS Kunststoff Hohlstäbe für CMP Halteringe
TECATRON CMP natural ist ein ungefüllter PPS Kunststoff (Polyphenylensulfid), der speziell für CMP Haltering Anwendungen optimiert wurde und damit wichtiger Bestandteil des Ensinger Portfolios für die Halbleiterindustrie ist. TECATRON CMP natural zeichnet sich durch ein einzigartiges Eigenschaftsprofil aus, das bei der Verwendung als CMP Haltering im Vergleich zum Standard Kunststoff PPS nur minimale Mikrokratzer und Defekte auf Wafer Ebene aufweist. Zuvor war TECATRON CMP natural unter der Bezeichnung TECATRON SE natural gelistet.
Eine wesentliche Herausforderung bei der Materialauswahl besteht darin, dass geringe Unterschiede in den Materialeigenschaften des CMP Halterings die Form der Pad Aspersität beeinflussen. Diese Modifikation führt zu unterschiedlichen Mengen von Pad Fragmenten und beeinflusst das Ausmaß der Fragmentmitnahme, was wiederum einen erheblichen Einfluss auf die Gesamtleistung des CMP Prozesses hat. Studien haben ergeben, dass TECATRON CMP die Pads in einer Weise verschleißen, dass die Oberflächen der Pads einen verbesserten Materialabtrag und weniger Defekte aufweisen. (Siehe Studie. Das Produkt wird im Artikel als TECATRON SE bezeichnet, was die frühere Bezeichnung von TECATRON CMP ist.)
Wie alle Ensinger Halbleitertypen werden auch die TECATRON CMP natural Hohlstäbe unter Einhaltung der Copy Exactly-Anforderungen (auch Copy-Exact genannt) der Halbleiterindustrie und unter strengeren Qualitätskontrollen als bei industriellen PPS Polymer Typen verarbeitet. Zusätzliche Qualitätskontrollen und Maßnahmen ermöglichen ein reduziertes Risiko von Verunreinigungen und eine verbesserte Eigenspannung und Dimensionsstabilität im Vergleich zum Standard Industrie PPS Kunststoff.
Neben der Optimierung der Materialeigenschaften hat Ensinger auch spezielle Hohlstabgrößen entwickelt, die den gängigen Größen von CMP Halteringen entsprechen und somit eine Reduzierung von Ausschuss und Kosten bei der Zerspanung ermöglichen. So lassen sich beispielsweise bei der Hohlstabgröße mit Außendurchmesser 350 mm / Innendurchmesser 300 mm, bis zu 27% Materialkosten im Vergleich zum herkömmlichen Außendurchmesser 360 / Innendurchmesser 290 mm einsparen.
Für CMP Halteringe, die eine höhere Lebensdauer erfordern, bietet Ensinger ein ungefülltes TECAPEEK CMP natural auf der Basis von PEEK an. TECAPEEK CMP natural ist ebenfalls mit einem speziellen, auf CMP Halteringe abgestimmten Eigenschaftsprofil ausgestattet. Für andere PPS Halbleiteranwendungen, die dieses spezielle Eigenschaftsprofil nicht erfordern, bietet Ensinger kostengünstigere PPS Halbleiterplatten, PPS Rundstäbe und PPS Hohlstäbe - TECATRON SX natural.
