Herstellung von Sensorsystemen: Einfacher, günstiger, schneller - und alles aus einerHand

Mit Ensinger Microsystems bieten wir eine neue Art der Herstellung von Sensorsystemen an. Statt einer zeit- und kostenintensiven Fertigung in Reinraumumgebung ermöglicht unser Konzept der Strukturierung mittels Kunststoffspritzguss eine einfachere und günstigere Herstellung und Montage. So wird eine Fertigung von mikrotechnologischen Systemen mit geringerem finanziellem und technologischem Aufwand mit ähnlicher Präzision wie konventionell gefertigten Mikrosysteme möglich.

 

  • Einfacher, günstiger und schneller fertigen und montieren - ganz ohne Reinraumumgebung.
  • Hochqualifizierte Fachexperten begleiten Sie an jedem Punkt des Wertschöpfungsprozesses - vom Compound bis zum fertigen Sensorsystem.
  • Individuelle Lösungen für Ihren Anwendungsfall: Magnetfeldsensoren, Drucksensoren, CO2 Sensoren und zahlreiche weitere Anwendungen sind möglich.
  • Auch Systeme mit großem Footprint wirtschaftlich umsetzbar, die auf Silizium nie kosteneffizient fertigbar wären

 

Dabei bieten wir nicht nur über 50 Jahre Erfahrung bei der Entwicklung und Verarbeitung von thermoplastischen Hochleistungskunststoffen. Unsere Fachexperten für Mikrosysteme begleiten Ihr Projekt an jeden Punkt der Wertschöpfungskette. So stellen wir höchste Qualität sicher - vom Compound bis zur fertigen Komponente.

Innovative materialien and Fertigungsverfahren

Mit unserem neu entwickelten Fertigungsverfahren stellen wir Mikrostrukturen und Sensorsysteme in gleichbleibender Qualität mittels Spritzguss aus unserem speziell entwickelten laserstrukturierbaren Hochleistungskunststoff her. Somit werden Prozessschritte ersetzt oder sogar obsolet, die bisher zwingendermaßen in Reinraumumgebung stattfinden mussten. Die Anzahl der Schritte bis zum einsetzbaren System wird dabei zudem deutlich reduziert. 
Konventionelle Sensorsysteme werden aktuell noch mittels Lithographieverfahren strukturiert. Die etablierten Fertigungsabläufe für die Sensorfertigung müssen dabei, bedingt durch die auf Fotoresist-basierenden Strukturierungsverfahren, zwingend in Reinraumumgebung stattfinden. Dadurch sind hohe Investitionen in die Infrastruktur und den Anlagenbetrieb notwendig.
Konventionelle Prozesskette auf Silizium
Mit unserem bei Ensinger Microsystems entwickelten Herstellungsprozess werden mittels Kunststoffspritzguss Substrate gefertigt, die auf einem mikrostrukturierten Formeinsatz in hohen Stückzahlen gefertigt werden können. Anstelle der Strukturierung einzelner Silizium-, Glas-, Saphirwafer oder Foliensubstrate ist somit eine deutliche Reduktion der einzelnen Prozessschritte möglich.    
Neue Prozesskette auf PEEK

Mit unserem bei Ensinger Microsystems entwickelten Herstellungsprozess werden mittels Kunststoffspritzguss Substrate gefertigt, die auf einem mikrostrukturierten Formeinsatz in hohen Stückzahlen gefertigt werden können. Anstelle der Strukturierung einzelner Silizium-, Glas-, Saphirwafer oder Foliensubstrate ist somit eine deutliche Reduktion der einzelnen Prozessschritte möglich.  

Die mit diesem Verfahren vorstrukturierten Substrate bestehen aus einem Laser-direkt-strukturierbaren (LDS) Hochtemperaturthermoplast TECAPEEK LDS. Die Kombination der Vorstrukturierung des Substrats, der 3D-Fähigkeit des Spritzgusses sowie die Funktionalisierung des Substrats ermöglichen nun eine deutliche Reduzierung der Prozesskette gegenüber der konventionellen Fertigung von Mikrosystemen, sowie einer Reduzierung der Backendprozesse und eine Vereinfachung von komplizierten Kontaktierungen.

Sensor Anwendungen & Industrien

  • Drucksensoren
  • Dehnmessstreifen
  • CO2 Sensoren
  • Stromsensoren (Current Sensor)
  • Magnetfeldsensoren
  • Wirbelstromsensoren
  • Kapazitive Sensoren
  • Durchflusssensoren